Proceedings of the Korean Society of Laser Processing Conference (한국레이저가공학회:학술대회논문집)

Korean Society of Laser Processing (한국레이저가공학회)
권호 표지

NSOM lithography using UV and femtosecond laser

자외선 및 펨토초 레이저를 이용한 근접장 패터닝

  • 장원석 (한국기계연구원 나노공정그룹) ;
  • 최무진 (한국기계연구원 나노공정그룹) ;
  • 김재구 (한국기계연구원 나노공정그룹) ;
  • 조성학 (한국기계연구원 나노공정그룹) ;
  • 황경현 (한국기계연구원 나노공정그룹)
  • Published : 2004.10.01
Download PDF
⟨ Previous Next ⟩

Abstract

Keywords