Strain Deformation in Epi-SiGe Films Grown by UHV-CVD

UHV-CVD를 이용한 Epi-SiGe의 증착 특성 연구

  • 전기성 (연세대학교 세라믹공학과) ;
  • 민병기 (연세대학교 세라믹공학과) ;
  • 고대홍 (연세대학교 세라믹공학과)
  • Published : 2003.10.17