UHV-CVD를 이용한 Epi-SiGe의 증착 특성 연구

Strain Deformation in Epi-SiGe Films Grown by UHV-CVD

  • 전기성 (연세대학교 세라믹공학과) ;
  • 민병기 (연세대학교 세라믹공학과) ;
  • 고대홍 (연세대학교 세라믹공학과)
  • 발행 : 2003.10.17