Proceedings of the Korean Ceranic Society Conference (한국세라믹학회:학술대회논문집)
- 2003.10a
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- Pages.95.2-95
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- 2003
Electrical Properties of PZT/Interlayers Thin Film with Heat Treatment of Bottom Electrode for Nonvolatile Ferroelectric Memory Application
비휘발성 메모리 응용을 위한 PZT/Interlayers 박막의 하부전극 열처리 조건에 따른 전기적 특성
Abstract
Keywords