한국세라믹학회:학술대회논문집 (Proceedings of the Korean Ceranic Society Conference)

한국세라믹학회 (The Korean Ceramic Society)
권호 표지

압전 Micro-actuator의 설계 및 제작

Silmulation and Fabraction of Piezoelectric Micro-actuator

  • 김상종 (고려대학교 전기공학과, 한국과학기술연구원 박막재료연구센터) ;
  • 성만영 (고려대학교 전기공학과) ;
  • 최지원 (한국과학기술연구원 박막재료연구센터) ;
  • 김현재 (한국과학기술연구원 박막재료연구센터) ;
  • 윤석진 (한국과학기술연구원 박막재료연구센터)
  • 발행 : 2003.10.17
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