Proceedings of the Korean Ceranic Society Conference (한국세라믹학회:학술대회논문집)

The Korean Ceramic Society (한국세라믹학회)
권호 표지

Silmulation and Fabraction of Piezoelectric Micro-actuator

압전 Micro-actuator의 설계 및 제작

  • 김상종 (고려대학교 전기공학과, 한국과학기술연구원 박막재료연구센터) ;
  • 성만영 (고려대학교 전기공학과) ;
  • 최지원 (한국과학기술연구원 박막재료연구센터) ;
  • 김현재 (한국과학기술연구원 박막재료연구센터) ;
  • 윤석진 (한국과학기술연구원 박막재료연구센터)
  • Published : 2003.10.17
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Abstract

Keywords