Oxygen Plasma 표면처리에 의한 Parylene C 및 Au의 Adhesion 해석

  • 이정훈 (연세대학교 세라믹공학과) ;
  • 황교선 (KIST 마이크로시스템연구센터) ;
  • 안세영 (솔고바이오메디칼) ;
  • 윤기현 (연세대학교 세라믹공학과) ;
  • 김태송 (KIST 마이크로시스템연구센터)
  • Published : 2003.10.17