Proceedings of the Korean Ceranic Society Conference (한국세라믹학회:학술대회논문집)

The Korean Ceramic Society (한국세라믹학회)
권호 표지

Thermal Stability of $(HfO_2)_{1-x}(Al_2O_3)_x$ Thin Films by DC Magnetron Sputtering

DC Magnetron Sputter로 증착한 $(HfO_2)_{1-x}(Al_2O_3)_x$ 박막의 열처리에 따른 물리적, 전기적 특성 연구

  • 홍영의 (연세대학교 세라믹공학과) ;
  • 김용석 (연세대학교 세라믹공학과) ;
  • 이동원 (연세대학교 세라믹공학과) ;
  • 고대홍 (연세대학교 세라믹공학과)
  • Published : 2003.10.17
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