Formation of ZnO/SiC/Si Heteroepitaxial Thin Films Using Pulsed Laser Deposition and their Structural Characterization

PLD를 이용한 ZnO/SiC/Si(001) 이종 접합 에피 박막의 제조와 구조적 특성 평가

  • 유창준 (전남대학교 신소재공학부) ;
  • 심연아 (전남대학교 신소재공학부) ;
  • 문종하 (전남대학교 신소재공학부) ;
  • 김상섭 (전남대학교 신소재공학부) ;
  • 김진혁 (전남대학교 신소재공학부)
  • Published : 2003.04.18