Proceedings of the Korean Ceranic Society Conference (한국세라믹학회:학술대회논문집)
- 2003.04a
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- Pages.160.1-160
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- 2003
Synthesis of Nanostructured Silicon Coatings by Hybrid Plasma and their Characterization
하이브리드 플라지마를 이용한 Si 나노코팅 합성 및 특성평가
- Lee, Hyeong-Jik ;
- Gwon, Hyeok-Byeong ;
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Jang, Seong-Sik
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Yun, Sang-Ok
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Lee, Hyeong-Bok
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Lee, Hong-Rim
- 이형직 (강릉대학교 세라믹공학과) ;
- 권혁병 (강릉대학교 세라믹공학과) ;
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장성식
(강릉대학교 세라믹공학과)
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윤상옥
(강릉대학교 세라믹공학과)
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이형복
(명지대학교 세라믹공학과)
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이홍림
(연세대학교 세라믹공학과)
- Published : 2003.04.18
Abstract
Keywords