Proceedings of the Korean Ceranic Society Conference (한국세라믹학회:학술대회논문집)

2003.04a
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Pages.142.1-142
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2003

The Korean Ceramic Society (한국세라믹학회)

권호 표지

Preferred Orientation Behavior of ITO Thin Films Prepared by RF-Magnetron Sputtering Method with Various Process Parameters

RF-Magnetron Sputtering 법의 공정변수 변화에 따른 ITO 박막 결정은 우선 배향 거동

박주오 (경북대학교 무기재료공학과) ;
이준형 (경북대학교 무기재료공학과) ;
김정주 (경북대학교 무기재료공학과) ;
조상희 (경북대학교 무기재료공학과) ;
정우환 (호원대학교 전기전자정보공학부)

Published : 2003.04.18

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Abstract

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