블라그 반사형 공진기의 기생 케패시턴스의 영향

Effect of Parastic Capacitance in the Bragg Reflector Type Thin Film Bulk Acoustic Wave Resonators

  • 강성철 (한국과학기술연구원 박막재료연구센터, 한양대학교 재료공학과) ;
  • 이시형 (한국과학기술연구원 박막재료연구센터) ;
  • 박종완 (한양대학교 재료공학과) ;
  • 이전국 (한국과학기술연구원 박막재료연구센터)
  • 발행 : 2003.04.18