Proceedings of the Korean Ceranic Society Conference (한국세라믹학회:학술대회논문집)
- 2003.04a
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- Pages.54.1-54
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- 2003
Fabrication of Cantilever and Bridge Type Piezoelectric Micro-transducer for Mass Detecting Device
질량감지 소자를 위한 Cantilever 및 Bridge Type 압전 마이크로 Transducer의 제작
- Sin, Sang-Hun ;
- Song, Sang-Geun ;
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Kim, Yong-Seong
;
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Park, Jun-Sik
;
- Park, Hyo-Deok ;
- Kim, Jin-Mo ;
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Jeong, Dong-Geun
;
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Lee, Jae-Chan
- 신상훈 (성균관대학교 재료공학과) ;
- 송상근 (성균관대학교 나노과학공학과) ;
-
김용성
(성균관대학교 재료공학과)
;
-
박준식
(전자부품 연구원(KETI))
;
- 박효덕 (전자부품 연구원(KETI)) ;
- 김진모 (성균관대학교 물리학과) ;
-
정동근
(성균관대학교 물리학과)
;
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이재찬
(성균관대학교 재료공학과)
- Published : 2003.04.18
Abstract
Keywords