Proceedings of the Korean Ceranic Society Conference (한국세라믹학회:학술대회논문집)

The Korean Ceramic Society (한국세라믹학회)
권호 표지

Behavior in Liquid of PZT Micromachined Cantilever

PZT 마이크로 켄틸레버의 제작 및 액체 내의 공진 특성 분석

  • 이정훈 (KIST 마이크로시스템연구센터, 연세대학교 세라믹공학과, (주) 솔고 바이오 메디칼) ;
  • 황교선 (KIST 마이크로시스템연구센터) ;
  • 안세영 ((주) 솔고 바이오 메디칼) ;
  • 윤기현 (연세대학교 세라믹공학과) ;
  • 김태송 (KIST 마이크로시스템연구센터)
  • Published : 2003.04.18
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Abstract

Keywords