The Study of Adhesion Improvement Between Parylene and Gold by IAR(Ion Assisted Reaction)

이온빔 처리에 의한 Parylene과 Gold의 접착력 증진에 관한 연구

  • 성진욱 (연세대학교 세라믹공학과, (주) P & I 기술 연구소) ;
  • 윤기현 (연세대학교 세라믹공학과) ;
  • 김기환 ((주) P & I 기술 연구소) ;
  • 백영환 ((주) P & I 기술 연구소) ;
  • 고석근 ((주) P & I 기술 연구소)
  • Published : 2003.04.18