Proceedings of the Korean Ceranic Society Conference (한국세라믹학회:학술대회논문집)

The Korean Ceramic Society (한국세라믹학회)
권호 표지

The Effect of Physical Characteristics of Cerium Oxide on Nanotopography of Chemical Mechanical Polishing for Shallow Trench Isolation

나노 세리아 입자의 특성이 CMP 나노포토그래피에 미치는 영향

  • 김상균 (한양대학교 세라믹공학과) ;
  • 윤필원 (한양대학교 세라믹공학과) ;
  • 손형민 (한양대학교 세라믹공학과) ;
  • 백운규 (한양대학교 세라믹공학과) ;
  • ;
  • 박재근 (한양대학교 나노 SOI 연구실)
  • Published : 2003.04.18
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Abstract

Keywords