한국세라믹학회:학술대회논문집 (Proceedings of the Korean Ceranic Society Conference)

한국세라믹학회 (The Korean Ceramic Society)
권호 표지

초고집적 반도체 제조공정에서 CMP를 위한 나노 세라믹 입자 시스템

The Nano-ceramic Particulate System for CMP in ULSI Process

  • 백운규 (한양대학교 세라믹공학과) ;
  • 김상균 (한양대학교 세라믹공학과) ;
  • ;
  • 박재근 (한양대학교 나노 SOI 연구실)
  • 발행 : 2003.04.18
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