Proceedings of the Korean Vacuum Society Conference (한국진공학회:학술대회논문집)
- 2003.02a
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- Pages.223-223
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- 2003
Micro-Hollow Cathode Discharge를 통한 EUV 광의 방출
- Heo, Hun ;
- Lee, Jun-Seok ;
- Han, Yeong-Jin ;
-
Nam, Sang-Hun
;
- Park, Seong-Su ;
- Kim, Sang-Hui ;
- Gwon, Yeong-Geon
- 허훈 (포항공대 가속기연구소) ;
- 이준석 (경북대학교 물리학과) ;
- 한영진 (포항공대 가속기연구소) ;
-
남상훈
(포항공대 가속기연구소)
;
- 박성수 (포항공대 가속기연구소) ;
- 김상희 (포항공대 가속기연구소) ;
- 권영건 (경북대학교 물리학과)
- Published : 2003.02.14
Abstract
Keywords