Proceedings of the Korean Vacuum Society Conference (한국진공학회:학술대회논문집)

The Korean Vacuum Society (한국진공학회)
권호 표지

유도 결합 플라즈마 화학 기상 증착법에 의해 제조된 carbon nitride 박막의 기판 rf bias 효과에 대한 연구

  • 이희용 (서울대학교 공과대학 재료공학부) ;
  • 이동각 (서울대학교 공과대학 재료공학부) ;
  • 이정중 (서울대학교 공과대학 재료공학부) ;
  • 강대환 (서울대학교 공과대학 신소재 공동 연구소) ;
  • 주정훈 (군산대학교 공과대학 재료 화학공학부)
  • Published : 2003.02.14
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Abstract

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