In-situ Plasma Diagnosis with an Optical Emission Spectroscopy during $BCl_{3}$-based High Density Inductively Coupled Dry Etching

• 조관식 (인제대학교 나노공학부/나노기술응용연구소) ;
• 임완태 (인제대학교 광대역정보통신학과) ;
• 백인규 (인제대학교 광대역정보통신학과) ;
• 정필구 (인제대학교 광대역정보통신학과) ;
• 이제원 (인제대학교 나노공학부/나노기술응용연구소) ;
• 이주인 (한국표준과학연구원 나노표면 그룹) ;
• 조국산 ((주)클라이오텍) ;

• Jo, Gwan-Sik ;
• Im, Wan-Tae ;
• Baek, In-Gyu ;
• Jeong, Pil-Gu ;
• Lee, Je-Won ;
• Lee, Ju-In ;
• Jo, Guk-San ;
• Pearton, S.J. (Department of Materials Sci. and Eng. University of Florida)

• 발행 : 2003.02.14

• PDF