Proceedings of the Korean Vacuum Society Conference (한국진공학회:학술대회논문집)

The Korean Vacuum Society (한국진공학회)
권호 표지

유도결합형 BC13/HBr/Ar계 플라즈마를 이용한 sapphire 식각 연구

  • 이효영 (성균관대학교 재료공학과) ;
  • 김동우 (성균관대학교 재료공학과) ;
  • 정창현 (성균관대학교 재료공학과) ;
  • 염근영 (성균관대학교 재료공학과)
  • Published : 2003.02.14
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