Proceedings of the Korean Vacuum Society Conference (한국진공학회:학술대회논문집)

The Korean Vacuum Society (한국진공학회)
권호 표지

DLC 박막을 이용한 에어베어링 재료의 표면개질

  • 김창조 (아텍시스템 부설연구소) ;
  • 엄문종 (아텍시스템 부설연구소) ;
  • 신영진 (아텍시스템 부설연구소) ;
  • 최윤 (아텍시스템 부설연구소)
  • Published : 2003.02.14
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