Proceedings of the Korean Vacuum Society Conference (한국진공학회:학술대회논문집)

The Korean Vacuum Society (한국진공학회)
권호 표지

ALD 방법에 의한 ZnO 박막의 성장

  • 조원태 (한국화학연구원, 박막재료연구실) ;
  • 성기환 (한국화학연구원, 박막재료연구실) ;
  • 안기석 (한국화학연구원, 박막재료연구실) ;
  • 정택모 (한국화학연구원, 박막재료연구실) ;
  • 김윤수 (한국화학연구원, 박막재료연구실)
  • Published : 2003.02.14
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