Proceedings of the Korean Vacuum Society Conference (한국진공학회:학술대회논문집)

The Korean Vacuum Society (한국진공학회)
권호 표지

Plastic 기판위에서 seed layer를 이용한 ${\mu}c$-Si 박막 저온성장 연구

  • 김도영 (성균관대학교 정보통신공학부) ;
  • 서창기 (성균관대학교 정보통신공학부) ;
  • 배성진 (성균관대학교 정보통신공학부) ;
  • 심명석 (성균관대학교 정보통신공학부) ;
  • 이준신 (성균관대학교 정보통신공학부)
  • Published : 2003.02.14
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