Proceedings of the Korean Vacuum Society Conference (한국진공학회:학술대회논문집)

The Korean Vacuum Society (한국진공학회)
권호 표지

PES 기판위에 Sputter로 증착된 비정질 실리콘 박막의 Excimer Laser Crystallization

  • 김은석 (홍익대학교 신소재공학과) ;
  • 박도영 (홍익대학교 신소재공학과) ;
  • 노재상 (홍익대학교 신소재공학과)
  • Published : 2003.02.14
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