한국진공학회:학술대회논문집 (Proceedings of the Korean Vacuum Society Conference)
- 한국진공학회 2003년도 제24회 학술발표회 초록집
- /
- Pages.117-117
- /
- 2003
Advanced Dry Etching of GaAs in High-Density Planar Inductively Coupled BCl3 Plasmas
- 임완태 (인제대학교 광대역정보통신학과) ;
-
백인규
(인제대학교 광대역정보통신학과) ;
- 정필구 (인제대학교 광대역정보통신학과) ;
-
이제원
(인제대학교 나노공학부/나노기술응용연구소) ;
- 조관식 (인제대학교 나노공학부/나노기술응용연구소) ;
-
이주인
(한국표준과학연구원 나노표면 그룹) ;
- 조국산 ((주)클라이오텍) ;
- Im, Wan-Tae ;
-
Baek, In-Gyu
;
- Jeong, Pil-Gu ;
-
Lee, Je-Won
;
- Jo, Gwan-Sik ;
-
Lee, Ju-In
;
- Jo, Guk-San ;
- Pearton, S.J. (Department of Materials Sci. and Eng., University of Florida)
- 발행 : 2003.02.14