Proceedings of the Korean Vacuum Society Conference (한국진공학회:학술대회논문집)
- 2003.02a
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- Pages.88-88
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- 2003
이온빔 주입에 의한 실리콘 산화막 내의 실리콘 나노결정 형성 및 PL특성 연구
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Choe, Han-U
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U, Hyeong-Ju
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Kim, Jun-Gon
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- Lee, Sam-Geun ;
- Ji, Yeong-Yong ;
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Kim, Gi-Dong
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Hong, Wan
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최한우
(한국지질자원연구원 입자빔응용팀) ;
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우형주
(한국지질자원연구원 입자빔응용팀) ;
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김준곤
(한국지질자원연구원 입자빔응용팀) ;
- 이삼근 (대전대학교 화학과) ;
- 지영용 (한국지질자원연구원 입자빔응용팀) ;
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김기동
(한국지질자원연구원 입자빔응용팀) ;
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홍완
(한국지질자원연구원 입자빔응용팀)
- Published : 2003.02.14
Abstract
Keywords