이온빔 주입에 의한 실리콘 산화막 내의 실리콘 나노결정 형성 및 PL특성 연구

  • 최한우 (한국지질자원연구원 입자빔응용팀) ;
  • 우형주 (한국지질자원연구원 입자빔응용팀) ;
  • 김준곤 (한국지질자원연구원 입자빔응용팀) ;
  • 이삼근 (대전대학교 화학과) ;
  • 지영용 (한국지질자원연구원 입자빔응용팀) ;
  • 김기동 (한국지질자원연구원 입자빔응용팀) ;
  • 홍완 (한국지질자원연구원 입자빔응용팀)
  • Published : 2003.02.14