Proceedings of the Korean Vacuum Society Conference (한국진공학회:학술대회논문집)
- 2003.02a
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- Pages.88-88
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- 2003
이온빔 주입에 의한 실리콘 산화막 내의 실리콘 나노결정 형성 및 PL특성 연구
- Choe, Han-U ;
- U, Hyeong-Ju ;
- Kim, Jun-Gon ;
- Lee, Sam-Geun ;
- Ji, Yeong-Yong ;
- Kim, Gi-Dong ;
- Hong, Wan
- 최한우 (한국지질자원연구원 입자빔응용팀) ;
- 우형주 (한국지질자원연구원 입자빔응용팀) ;
- 김준곤 (한국지질자원연구원 입자빔응용팀) ;
- 이삼근 (대전대학교 화학과) ;
- 지영용 (한국지질자원연구원 입자빔응용팀) ;
- 김기동 (한국지질자원연구원 입자빔응용팀) ;
- 홍완 (한국지질자원연구원 입자빔응용팀)
- Published : 2003.02.14
Abstract
Keywords