한국진공학회:학술대회논문집 (Proceedings of the Korean Vacuum Society Conference)
- 한국진공학회 2003년도 제24회 학술발표회 초록집
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- Pages.83-83
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- 2003
Comparison of High Density Plasma Etching of AIGaAs/GaAs and InGaP/GaAs in Planar Inductively Coupled BCl3 Plasmas
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백인규
(인제대학교 광대역정보통신학과) ;
- 임완태 (인제대학교 광대역정보통신학과) ;
- 정필구 (인제대학교 광대역정보통신학과) ;
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이제원
(인제대학교 나노공학부/나노기술응용연구소) ;
- 조관식 (인제대학교 나노공학부/나노기술응용연구소) ;
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이주인
(한국표준과학연구원 나노표면 그룹) ;
- 조국산 ((주)클라이오텍) ;
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Baek, In-Gyu
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- Im, Wan-Tae ;
- Jeong, Pil-Gu ;
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Lee, Je-Won
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- Jo, Gwan-Sik ;
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Lee, Ju-In
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- Jo, Guk-San ;
- Pearton, S.J. (Department of Materials Sci. and Eng. University of Florida)
- 발행 : 2003.02.14