금속원소 도핑에 따른 초고경도 나노구조 TiN 박막의 합성 및 형성거동에 관한 연구

  • 명현식 (성균관대학교 플라즈마 응용 표면기술 연구 센터) ;
  • 한전건 (성균관대학교 플라즈마 응용 표면기술 연구 센터)
  • Published : 2003.02.14