한국진공학회:학술대회논문집 (Proceedings of the Korean Vacuum Society Conference)
- 한국진공학회 2003년도 제25회 학술발표회 초록집
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- Pages.206-206
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- 2003
자장 인가된 $SF_6$ 계 유도결합형 플라즈마를 이용한 SiC 식각 특성에 관한 연구
- 발행 : 2003.08.20