Proceedings of the Korean Vacuum Society Conference (한국진공학회:학술대회논문집)
- 2003.08a
- /
- Pages.191-191
- /
- 2003
Chemical Mechanical Polishing 공정 원자단위 모델링 연구
- Gang, Jeong-Won ;
- Song, Gi-O ;
- Choe, Won-Yeong ;
- Byeon, Gi-Ryang ;
- Lee, Jun-Ha ;
- Gwon, O-Geun ;
- Hwang, Ho-Jeong
- 강정원 (중앙대학교 전자전기공학부) ;
- 송기오 (중앙대학교 전자전기공학부) ;
- 최원영 (중앙대학교 전자전기공학부) ;
- 변기량 (중앙대학교 전자전기공학부) ;
- 이준하 (상명대학교 컴퓨터정보통신공학부) ;
- 권오근 (세명대학교 인터넷정보학부) ;
- 황호정 (중앙대학교 전자전기공학부)
- Published : 2003.08.20
Abstract
Keywords