Proceedings of the Korean Vacuum Society Conference (한국진공학회:학술대회논문집)

The Korean Vacuum Society (한국진공학회)
권호 표지

이온빔 증착법에 의해 형성된 Si 나노결정의 특성 분석

  • 김재권 (동아대학교 물리학과) ;
  • 차규만 (동아대학교 물리학과) ;
  • 강정현 (동아대학교 물리학과) ;
  • 김영대 (동아대학교 물리학과) ;
  • 김용 (동아대학교 물리학과)
  • Published : 2003.08.20
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Abstract

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