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한국진공학회
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한국진공학회:학술대회논문집
(Proceedings of the Korean Vacuum Society Conference)
한국진공학회 2003년도 제25회 학술발표회 초록집
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Pages.118-118
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2003
한국진공학회 (The Korean Vacuum Society)
Ion-cut에 의한 SOI웨이퍼 제조에서의 양성자조사기구
최한우
(한국지질자원연구원 입자빔응용팀) ;
우형주
(한국지질자원연구원 입자빔응용팀) ;
김준곤
(한국지질자원연구원 입자빔응용팀) ;
지영용
(한국지질자원연구원 입자빔응용팀)
Choe, Han-U
;
U, Hyeong-Ju
;
Kim, Jun-Gon
;
Ji, Yeong-Yong
발행 : 2003.08.20
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