Ion-cut에 의한 SOI웨이퍼 제조에서의 양성자조사기구

  • 최한우 (한국지질자원연구원 입자빔응용팀) ;
  • 우형주 (한국지질자원연구원 입자빔응용팀) ;
  • 김준곤 (한국지질자원연구원 입자빔응용팀) ;
  • 지영용 (한국지질자원연구원 입자빔응용팀)
  • 발행 : 2003.08.20