Proceedings of the Korean Vacuum Society Conference (한국진공학회:학술대회논문집)

2003.08a
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Pages.111-111
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2003

The Korean Vacuum Society (한국진공학회)

권호 표지

UV-enhanced Atomic Layer Deposition(ALD) of $TiO_2$ Thin Films

권용준 (국민대학교 화학과) ;
장영진 (국민대학교 화학과) ;
성명모 (국민대학교 화학과)

Published : 2003.08.20

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Abstract

Keywords