Multibeam Optical Stress Sensor를 이용한 에피층 성장의 실시간 응력관찰

• Kim, Byeong-Ju ;
• Jang, Jin-Bo ;
• Hwang, Hui-Don ;
• Park, Gwang-Min ;
• Lee, Hak-Seon ;
• Gi, Bong ;
• Yun, Ui-Jun

• 김병주 (서울대학교 재료공학부) ;
• 장진보 (서울대학교 재료공학부) ;
• 황희돈 (서울대학교 재료공학부) ;
• 박광민 (서울대학교 재료공학부) ;
• 이학선 (서울대학교 재료공학부) ;
• 기봉 (주식회사 나노트론) ;
• 윤의준 (서울대학교 재료공학부)

• Published : 2003.08.20

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