A Study for Improving Airflow Uniformity in Vertical Unidirectional Flow Cleanroom with FFUs

FFU 방식의 수직 층류형 클린룸에서 편류 개선에 관한 연구

  • Kim Dong-kweon (Institute of Techology, Shinsung ENG Co. Ltd.) ;
  • Cho Sang-joon (Institute of Techology, Shinsung ENG Co. Ltd.) ;
  • Moon In-ho (Institute of Techology, Shinsung ENG Co. Ltd.) ;
  • Kim Jong-jin (Institute of Techology, Shinsung ENG Co. Ltd.)
  • 김동권 ((주)신성이엔지 기술연구소) ;
  • 조상준 ((주)신성이엔지 기술연구소) ;
  • 문인호 ((주)신성이엔지 기술연구소) ;
  • 김종진 ((주)신성이엔지 기술연구소)
  • Published : 2003.07.01