한국자원리싸이클링학회:학술대회논문집 (Proceedings of the Korean Institute of Resources Recycling Conference)

한국자원리싸이클링학회 (The Korean Institute of Resources Recycling)
권호 표지

펄스 플라즈마 CVD에 의한 다이아몬드 특성을 갖는 탄소박막 증착

Deposition of Diamond-like carbon Thin Film by Pulsed Plasma Chemical Vapor Deposition

  • 임호병 (공주대학교 공과대학 화학공학부) ;
  • 김동선 (공주대학교 공과대학 화학공학부) ;
  • 이기선 (공주대학교 신소재 공학부)
  • Im, Ho-Byung (Depart. of Chemical Engineering, KongJu National University) ;
  • Kim, Dong-Sun (Depart. of Chemical Engineering, KongJu National University) ;
  • Lee, Ki-Sun (Depart. of Material Engineering KongJu National University)
  • 발행 : 2003.10.15
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초록

본 연구에서는 열 필라멘트 화학증착 방법에 의한 나노 다이아몬드 박막 증착을 위해 핵 생성 밀도를 증가시키기 위해서 다이아몬드 특성을 갖는 탄소(Diamond-Like Carbon)박막들을 연속 및 펄스 플라즈마를 이용한 화학 증착법에 의하여 증착하여 그 특성을 SEM, XPS, Raman 및 Nano-Tester를 이용하여 분석하였으며 열 필라멘트 화학 증착법에 의하여 나노 다이아몬드 박막 형성에 대한 핵 밀도와 다아이몬드 특성을 갖는 탄소 박막의 특성의 연관성을 관찰하여 공구(WC-Co)의 표면 사전 처리 없이 나노 다이아몬드 박막 형성을 용이하게 하는 실험을 수행하였다.

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