한국전기전자재료학회:학술대회논문집 (Proceedings of the Korean Institute of Electrical and Electronic Material Engineers Conference)
- 한국전기전자재료학회 2003년도 추계학술대회 논문집 Vol.16
- /
- Pages.313-316
- /
- 2003
RF 마그네트론 스퍼터링으로 증착한 두께에 따른 PZT 박막의 강유전 특성에 관한 연구
Thickness dependence of the piezoelectric characteristic for PZT films using by rf magnetron sputtering
- 발행 : 2003.11.13
초록
The lead zirconate titanate,