집적화 RF Switch module의 제조와 특성에 관한 연구

The study on Characteristics and Fabrication of RF Switch module devices

상용화되어 있는 이동통신 기기의 Front-end 부분은 듀플렉서와 필터를 포함하는 수동소자로 구성되어 있다. 듀플렉서의 임피던스 정합선로는 전송선로 이론으로부터 설계하며, 단순하게 ${\lambda}=1/4$ 파장 길이의 정합 선로를 설치하는 것이기 때문에 정합선로를 이용한 듀플렉서 성능을 극대화하기 위한 설계의 융통성이 없는게 현실이다. 이런 문제점을 해결하기 위하여 집중소자(lumped element)인 R L C를 탄성 표면파 듀플렉서 대신 스위치 모들에 적용하게 된다면 여러 가지 다양한 형태의 회로를 구현할 수 있고 회로망 내에 위치하는 집중소자의 정격을 최적화하여 스위치 모듈의 성능을 향상시킬 수 있는 가능성이 있다. 본 연구에서는 $900 MHz{\sim}2.2 GHz$의 대역에서 소형화 집적화에 적용 가능한 디바이스를 개발하기 위하여 고주파, 저진압, 저손실 스위치 모듈의 제조와 구성되는 커패시터와 인덕터의 제조와 특성에 관하여 연구하였다.