Proceedings of the KIEE Conference (대한전기학회:학술대회논문집)
- 2003.10a
- /
- Pages.167-169
- /
- 2003
A study on the Characteristics of MgO Thin Films Deposited by Bipolar pulse power
Bipolar pulse power를 사용하여 증착한 MgO 박막의 특성에 관한 연구
- Kim, Young-Su (Inha University) ;
- Kim, Seung-Chan (Inha University) ;
- Song, Geun-Yeoung (Inha University) ;
- Choi, Hoon-Young (Inha University) ;
- Jung, Hai-Young (LG Electronics) ;
- Seo, Jung-Hyun (Inchon University) ;
-
Lee, Seok-Hyun
(Inha University)
- Published : 2003.10.31
Abstract
AC PDP(Plasma Display panel)에서 MgO 보호막은 방전공간에 직접 노출되어 있기 때문에, AC PDP의 수명과 방전 특성이 직접적인 영향을 미친다. 그동안 보다 좋은 특성의 MgO 보호막을 증착하기 위한 연구가 Magnetron-sputtering, E-beam, ion-plating 등 여러 가지 방법에 의해 진행되어 왔다. 본 논문에서는 Bipolar pulse power를 사용하여 sputtering 방법으로 MgO 보호막을 증착하여, 그 전기적, 광학적 특성을 기존의 magnetron-sputtering 방법으로 증착한 MgO 보호막과 비교하였다. 그 결과 Bipo1ar pulse power를 이용한 MgO 보호막의 결정립이 더 크게 나타났으며 그것으로부터 AC PDP의 수명향상에 효과가 있을 것으로 사료된다.
Keywords