대한전기학회:학술대회논문집 (Proceedings of the KIEE Conference)
- 대한전기학회 2003년도 추계학술대회 논문집 전기물성,응용부문
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- Pages.117-119
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- 2003
Ar/$O_2$ 비에 따른 PZT(30/70)/(70/30) 이종층 박막의 유전 특성
The dielectric properties of the PZT(30/70)/(70/30) heterolayered thin films with Ar/$O_2$ rates
- 남성필 (광운대학교 전자재료공학과) ;
- 이상철 (광운대학교 전자재료공학과) ;
-
이상헌
(선문대학교) ;
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이성갑
(서남대학교) ;
- 배선기 (인천대학교) ;
-
이영희
(광운대학교 전자재료공학과)
- Nam, Sung-Pill (Kwangwoon Univ.) ;
- Lee, Sang-Chul (Kwangwoon Univ.) ;
-
Lee, Sang-Heon
(Sunmoon Univ.) ;
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Lee, Sung-Gap
(Seonam Univ.) ;
- Bae, Seon-Gi (Inchon Univ.) ;
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Lee, Young-Hie
(Kwangwoon Univ.)
- 발행 : 2003.10.31
초록
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