대한전기학회:학술대회논문집 (Proceedings of the KIEE Conference)
- 대한전기학회 2003년도 추계학술대회 논문집 전기물성,응용부문
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- Pages.72-74
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- 2003
p-형 ZnO 박막의 성장 및 전기적 특성에 대한 연구
The formation and the electrical properties of p-type ZnO films
- Jeong, M.C. (Dept. of Mat. Sci. & Eng., Yonsei univ.) ;
- Moon, T.H. (Dept. of Mat. Sci. & Eng., Yonsei univ.) ;
- Ko, Y.D. (Dept. of Electrical & Electronic Eng., Yonsei univ.) ;
- Yun, Il-Gu (Dept. of Electrical & Electronic Eng., Yonsei univ.) ;
- Myoung, J.M. (Dept. of Mat. Sci. & Eng., Yonsei univ.)
- 발행 : 2003.10.31
초록
Rf magnetron sputtering을 이용하여 InP, GaAs 기판위에 ZnO 박막을 증착시켰다. 진공 ampul 및
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