한국반도체및디스플레이장비학회:학술대회논문집
(Proceedings of the Korean Society Of Semiconductor Equipment Technology)
한국반도체및디스플레이장비학회 2003년도 추계학술대회 발표 논문집
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Pages.136-140
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2003
한국반도체디스플레이기술학회 (The Korean Society Of Semiconductor & Display Technology)
Characteristics and Fabrication of 2-Dimensional High Speed pH Image LAPSwith the
$Si_{3}N_{4}$
and the
$Ta_{2}O_{5}$
Sensing Membrane
권대혁
(경일대학교 전자정보공학과) ;
정영희
(경북대학교 전기전자공학부) ;
장수원
(경북대학교 전기전자공학부) ;
김재호
(경북대학교 전기전자공학부)
발행 : 2003.12.01
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