Abstract
In this paper, we present the fabrication and performance of FBAR filters with ladder and stacked crystal filter (SCF) types. The structure of the unit resonator in our work is the solidly mounted resonator (SMR) with W/SiO$_2$ multi-layer reflectors, the return loss of of which show -24dB at resonant frequency of -2.0GHz. The $K^2$eff, Q$_{s}$, and Q$_{p}$, indicating the performance of resonator were 3.24%, 6,363 and 6,749 and were calculated for the resonator with the resonance area of 21200${\mu}{\textrm}{m}$$^2$. Based on this unit resonator, FBAR filters with ladder and SCF types were fabricated and compared. The sizes of filters were 800$\times$2000(${\mu}{\textrm}{m}$$^2$) for the ladder type and 600$\times$500(${\mu}{\textrm}{m}$$^2$) for the SCF type.e..
본 논문에서는 Ladder 형과 SCF 형의 구조를 가지는 FBAR 필터의 제작에 대해 발표한다. 단위공진기의 구조는 W/SiO$_2$, 반사층을 갖는 SMR (Solidly Mounted Resonate.) 구조을 가지며, 21,200$\mu$m$^2$의 공진 면적을 갖는 단위공진기의 $K^2$eff, Q$_{s}$ 그리고 Q$_{p}$는 각각 3.24%, 6,363 그리고 6,749의 값을 보였다. 이와같은 성능을 갖는 단위공진기를 기본으로 제작된 필터의 크기는 Ladder 형이 800$\times$2000($\mu\textrm{m}$$^2$)의 크기를 갖고 SCF 형이 600$\times$500($\mu\textrm{m}$$^2$)을 가진다. 먼저 필터의 기본이 되는 박막형 공진기를 최적화시키고, 이를 바탕으로 Ladder 형과 SCF형의 구조를 가지는 FBAR 필터를 제작하여 성능을 비교하였다.다..