Proceedings of the Korean Institute of Industrial Safety Conference (한국산업안전학회:학술대회논문집)

The Korean Society of Safety (한국안전학회)
권호 표지

기류방출형 정전기제거장치의 개발에 관한 연구

  • 이동훈 (부경대학교 공과대학 안전공학과) ;
  • 박훈규 (부경대학교 공과대학 산업대학원)
  • Published : 2003.05.01
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Abstract

액정판넬(LCD) 및 반도체 제조공정에 있어서 정전기 발생으로 인하여 미세한 먼지가 LCD 및 반도체 웨이퍼에 부착되거나, 정전기 방전에 의해 반도체소자 및 LCD 유리기판상의 패헌의 파괴를 야기하여 제품의 수율을 저하시키고 제조원가를 상승시키는 주요한 요인이 된다. 현재 이러한 제조공정에서 정전기를 위한 대책으로 코로나방전에 의한 이온바(Ion Bar) 및 이온브로어(Ion Blower)를 제전설비로 사용하고 있으나, 이 장치는 코로나 방전에 의한 이온을 발생시키고 이온화된 공기를 불어 내기 위하여 팬을 사용하여 공기를 대류 시킨다.(중략)

Keywords