한국표면공학회:학술대회논문집 (Proceedings of the Korean Institute of Surface Engineering Conference)

한국표면공학회 (The Korean Institute of Surface Engineering)
권호 표지

OES를 이용한 펄스 마그네트론 스퍼터링의 공간분포에 관한 연구

Spatially Resolved Optical Emission Spectroscopy of Pulse Magnetron Sputtering Discharge

  • 김용모 (성균관대학교 플라즈마 응용 표면기술연구센터) ;
  • 정민재 (성균관대학교 플라즈마 응용 표면기술연구센터) ;
  • 한전건 (성균관대학교 플라즈마 응용 표면기술연구센터) ;
  • 오수기 (아주대학교)
  • 발행 : 2003.10.01
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