Proceedings of the Korean Institute of Surface Engineering Conference (한국표면공학회:학술대회논문집)

The Korean Institute of Surface Engineering (한국표면공학회)
권호 표지

Structures and mechanical properties of diamond like carbon films prepared by closed-field unbalanced magnetron sputtering

Closed-field unbalanced magnetron sputtering 법에 의해 합성된 다이아몬드상 카본막의 구조 및 기계적 특성에 관한 연구

  • 명현식 (성균관대학교 플라즈마 응용 표면기술 연구센터) ;
  • 박용섭 (성균관대학교 플라즈마 응용 표면기술 연구센터) ;
  • 홍병유 (성균관대학교 플라즈마 응용 표면기술 연구센터) ;
  • 한전건 (성균관대학교 플라즈마 응용 표면기술 연구센터)
  • Published : 2003.10.01
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Abstract

Keywords