Proceedings of the Korean Institute of Surface Engineering Conference (한국표면공학회:학술대회논문집)
- 2003.10a
- /
- Pages.53-53
- /
- 2003
유도 결합 플라즈마 화학 기상 증착법에 의해 제조된 carbon nitride 박막의 기판 r.f. bias 효과에 대한 연구
Abstract
유도 결합 플라즈마는 비교적 간단한 방법으로 1
Keywords
유도 결합 플라즈마는 비교적 간단한 방법으로 1