미소소자를 위한 초저마찰 박막

Ultra-low friction materials for micro-devices

  • 나종주 (한국기계연구원 표면연구부) ;
  • 권식철 (한국기계연구원 표면연구부) ;
  • 이구현 (한국기계연구원 표면연구부) ;
  • 조정래 (한국기계연구원 표면연구부)
  • 발행 : 2003.10.01